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晶圓表面缺陷檢測(cè):半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié)
2025-01-22

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)載體,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設(shè)備精度等,表面可能會(huì)出現(xiàn)各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會(huì)降低芯...

  • 2023-03-16

    電容式位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器,具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨特點(diǎn)外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。它是基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對(duì)的被測(cè)物體。如果有穩(wěn)定交流電通過(guò)傳感器,輸出交流電的電壓會(huì)與傳感器到被測(cè)物體之間的距離成正比關(guān)系,從而可以通過(guò)測(cè)量電壓的變化得到距離信息。電容式位移傳感器的測(cè)量原理特性:采用電容式測(cè)量原理,需要潔凈和干燥的環(huán)境,否則傳...

  • 2023-03-16

    應(yīng)力測(cè)量?jī)x采用成像式光彈原理,直接測(cè)量光延遲,可以快速給出高分辨率的高精度測(cè)量結(jié)果??蓪?duì)玻璃、晶體、塑料等透明物體等內(nèi)在殘余應(yīng)力進(jìn)行測(cè)試,測(cè)試精度可達(dá)設(shè)備功能與原理介紹:量測(cè)主板在制程中,因板彎板翹所造成的變形量,并用以驗(yàn)證是否對(duì)BGA錫點(diǎn)產(chǎn)生相對(duì)影響。使用者可透過(guò)專用的軟體中的最大主應(yīng)力、最小主應(yīng)力、剪應(yīng)力、對(duì)應(yīng)角度,diagonal等,專有計(jì)算功能來(lái)判定所量測(cè)到的訊號(hào)數(shù)據(jù)是否符合國(guó)際規(guī)范,是否合乎標(biāo)準(zhǔn)?以作為服務(wù)器,筆記本計(jì)算器、PDA、及手持電話等3C產(chǎn)品出口質(zhì)量的重要...

  • 2023-03-16

    光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。它可以埃級(jí)分辨率對(duì)表面進(jìn)行高分辨率測(cè)量。該系統(tǒng)支持相位和垂直掃描干涉測(cè)量,兩者都是傳統(tǒng)的相干掃描干涉技術(shù)(CSI)。本產(chǎn)品進(jìn)一步擴(kuò)展了這些技術(shù),它采用SMARTAcquire為新手用戶簡(jiǎn)化了程序設(shè)置,并且采用z-stitching干涉技術(shù)可以對(duì)大臺(tái)階高度進(jìn)行高速測(cè)量。光學(xué)輪廓儀測(cè)量技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于測(cè)量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無(wú)關(guān),因而能夠在大視野范圍內(nèi)進(jìn)行高分辨率測(cè)量。測(cè)量區(qū)域可以通過(guò)將多個(gè)視場(chǎng)拼接為同一個(gè)測(cè)量結(jié)果而進(jìn)一步增加。...

  • 2023-03-16

    防震臺(tái)是一款很有名的防振系統(tǒng)。在納米技術(shù)的時(shí)代,極之微細(xì)的振動(dòng)已對(duì)搜索結(jié)果造成極大的影響,必須改善測(cè)量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的較佳效能,達(dá)到較佳成果。Nanotechnology正在改變,由高層次的研究波及各個(gè)行業(yè)的基本生產(chǎn),要有效地發(fā)展納米技術(shù),消除振動(dòng)尤為重要!目前,防震臺(tái)的應(yīng)用范圍:適合用千對(duì)振動(dòng)敏感的測(cè)量和試驗(yàn)機(jī)、激光器、刻度盤、光學(xué)和電子以及醫(yī)療設(shè)備等。新型隔振臺(tái)LTH用千振動(dòng)或者承載載荷可能會(huì)干擾試驗(yàn)或者機(jī)器設(shè)備的應(yīng)用場(chǎng)合。防震臺(tái)的行業(yè)分析:當(dāng)今科學(xué)界的科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要越來(lái)...

  • 2023-03-16

    光學(xué)輪廓儀是一種全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。操作員只需安裝被測(cè)工件,在驗(yàn)證軟件上設(shè)置掃描的開(kāi)始和結(jié)束位置,點(diǎn)擊“開(kāi)始”按鈕,測(cè)量針就會(huì)自動(dòng)接觸工件表面并根據(jù)設(shè)置的位置進(jìn)行掃描;在輪廓掃描過(guò)程中,軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)繪制輪廓曲線;掃描后,操作員可以通過(guò)輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線,以獲得直線度、圓度、角度、距離、間距等輪廓參數(shù)。光學(xué)輪廓儀應(yīng)該怎么用輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)...

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