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在半導(dǎo)體制造業(yè)中，晶圓作為芯片的基礎(chǔ)載體，其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過程中，由于多種因素的影響，如材料純度、制造工藝、設(shè)備精度等，表面可能會出現(xiàn)各種缺陷，如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會降低芯...
電容式位移傳感器是一種廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、自動化控制和精密測量等領(lǐng)域的傳感器。它可以檢測物體的微小位移，并將其轉(zhuǎn)換為電信號輸出，具有高精度、高靈敏度、可重復(fù)性好等特點(diǎn)。電容式位移傳感器的工作原理基于電容的變化。當(dāng)兩個(gè)帶電電極之間有介質(zhì)隔開時(shí)，它們之間的電容量會受到介質(zhì)性能和電極間距離的影響而改變。因此，在該傳感器中，常采用平行板電容器的結(jié)構(gòu)，將一個(gè)電極固定在底部的稱為靜電極，另一個(gè)電極固定在一個(gè)動態(tài)可移動的測量物體上，稱為運(yùn)動極。當(dāng)測量物體發(fā)生微小的位移時(shí)，運(yùn)動極的位置也會發(fā)...
電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。本產(chǎn)品可在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設(shè)備等提供優(yōu)異的隔振性能。工作原理：安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺，以便營造適合該設(shè)備的條件。電鏡隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生...
1.簡介光學(xué)光刻（Opticallithography），也稱為光學(xué)平版印刷術(shù)或紫外光刻，是在其他處理步驟（例如沉積，蝕刻，摻雜）之前用光刻膠對掩模和樣品進(jìn)行構(gòu)圖的方法。2.設(shè)備（接近式光刻機(jī)）2.1HMDS及涂膠1)標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)工藝中包括HMDS蒸汽預(yù)處理2)烤箱-批量處理多個(gè)晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉(zhuǎn)器上旋轉(zhuǎn)涂布4）涂膠機(jī)上進(jìn)行光刻膠的涂布2.2對準(zhǔn)接觸光刻1)光刻前的對準(zhǔn)2)對準(zhǔn)器——處理具有對準(zhǔn)圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準(zhǔn)機(jī)——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...
電容式位移傳感器是一種常用的測量裝置，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測物體的位置、形態(tài)和運(yùn)動狀態(tài)等。但是，在使用電容式位移傳感器時(shí)，也存在一些需要注意的問題，以下為詳細(xì)介紹：1.靜電干擾：電容式位移傳感器對靜電干擾比較敏感，在使用時(shí)應(yīng)盡可能減少或避免靜電干擾。特別是在干燥環(huán)境下，靜電干擾更加嚴(yán)重，會造成誤差的產(chǎn)生。2.靈敏度：本產(chǎn)品的靈敏度較高，因此需要進(jìn)行相應(yīng)的校準(zhǔn)，以確保其精度和可靠性。校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意傳感器與被測對象之間的距離、介質(zhì)、溫度等因素的影響。3.溫度漂移：溫度變化會導(dǎo)致產(chǎn)品本身的參數(shù)...
粗糙度測定儀的應(yīng)用表面質(zhì)量的特性是零件非常重要的特性之一，在計(jì)量科學(xué)中表面質(zhì)量的檢測具有重要的地位。以前人們是用標(biāo)準(zhǔn)樣件或樣塊，通過肉眼觀察或用手觸摸，對表面粗糙度做出定性的綜合評定。目前粗糙度儀主要涉及的行業(yè)領(lǐng)域有：一、非金屬加工制造業(yè)，隨著科技的進(jìn)步與發(fā)展，越來越多的新型材料應(yīng)用到加工工藝上，如陶瓷、塑料、聚乙烯，等等，現(xiàn)在有些軸承就是用特殊陶瓷材料加工制作的，還有泵閥等是利用聚乙烯材料加工制成的。這些材料質(zhì)地堅(jiān)硬，某些應(yīng)用可以替代金屬材料制作工件，在生產(chǎn)加工過程中也需要...